抛光粉的成分基本是金属氧化物。据文献记载，17世纪人们使用抛光粉，20 世纪 40 年代前后使用稀土抛光粉抛光光学玻璃。我国从1958年开始研究氧化铈基抛光粉，并有了一定的成果。20世纪70年有了添加氟、硅等元素的产品。
工业上使用的抛光粉包括氧化铁、氧化铝、稀土氧化物等。然而，随着科学技术的发展和抛光质量要求的提高，稀土抛光粉以其抛光质量高、抛光速度快、污染小等优势占据市场地位前列。
